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Pulse-Power-Sensor für Plasma-Anwendungen

Plasma-Anlagen in der Halbleiter-Fertigung sind auf präzises Einhalten der Prozess-Parameter angewiesen. Dazu gehört auch, die Leistung der HF-Quelle sehr genau einzuhalten und nachzuregeln. Mit dem neuen Powermeter-Modell der 7023-Serie von Bird Technologies gelingt die Überwachung der eingestrahlten HF-Leistung bis 20kW (modell-abhängig).

Der Powersensor ist NIST-traceable und bietet 1% Genauigkeit bei der kalibrierten Frequenz. Tastverhältnisse von 10-90% sind darstellbar, zur Anzeige dient die VPM3-Software von Bird. Der Sensor wird direkt in die HF-Leitung eingefügt, der integrierte Koppler bedarf keiner Vor-Ort-Kalibrierung. Das Datenblatt zum Sensor kann hier heruntergeladen werden: Pulse Sensor Series_7023.pdf