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Technologie und Neuerungen bei Einschichtkondensatoren

Einschichtkondensatoren sind über viele Jahre für Hochfrequenz- und Mikrowellenanwendungen eingesetzt worden. Die einfache Struktur aus zwei parallelen Flächen besitzt im Vergleich zu Mehrschichtkapazitäten auf Grund des geringen Induktivitäts- und Widerstandsbelages (ESR effective series resistance) Vorteile bis in den Gigahertzbereich. Dieser Beitrag diskutiert die herkömmliche Methode zur Erzeugung von Einschichtkapazitäten und beschreibt dann eine technologische Neuerung auf diesem Gebiet, den „buried single layer capacitor“™, einen Kondensator mit vergrabenen Schichten.

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